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品牌 产地 进口
加工定制

MEGATORR阀门压力控制器AP-420
宽带阀040(NW40),050(NW50),063(NW63),075(NW80)
在以往的真空压力控制中,随着过程的多样化,压力控制范围也呈现出多样化的趋势,特别是在低真空(高压)下压力控制的需求增加。阀门加热温度也一样,随着过程气体的多样化,变得更需要温度。为了满足您的要求而开发的是这个宽带阀门。
宽压力控制范围:101.33kPa(大气压)~1

MEGATORR阀门压力控制器AP-420 详细信息

MEGATORR阀门压力控制器AP-420

MEGATORR阀门压力控制器AP-420

压力控制器AP-420

AP系列是电容计量器(绝对压力真空计)和槽阀组合使用的压力控制器。可以从自适应/PID/混合动力3种类型中选择控制方式,确保半导体/FPD/太阳能电池等制造装置所要求的高速应答、高再现性的真空压力控制。也可以通过前面板进行设定,操作性非常容易。另外,由于CE标志、RoHS对应产品,被世界上所有产业的量产设备所使用

 

压力控制器AP-100R

Model AP-100R将制造装置中的真空室进行真空排气时,通过改变阀门电导,作为控制真空排气速度的下游压力控制装置使用。

GOOT太洋电机产业,HACHIKO八光电机制作所,YOKOGAWA横河电机,WATANABE渡边电机工业,TOGAMI户上电机制作所,KASUGA春日电机株式会社,OTOWADENKI音羽电机工业株式会社AICHIDNK新爱知电机制作所OKAYAELEC岡谷电机产业株式会社,TOSHIBA东芝产业机器システム株式会社,

NIKKO日幸电机制作所FUKUDADENKI福田电机制作所,KYOEIDENKI協荣电机,NIHONDENKISANGYO日本电机产业,SATORI佐鸟电机,SHINOHARA篠原电机,TSURUTA鶴田电机,NUNOME布目电机,FUJIELECTRIC富士电机机器制御,FUJIDK不二电机工业,HIOKI日置电机,MIZUDEN水谷电机工业,WATANABE渡边电机工业,OJIDEN大阪自动电机株式会社,YAMAMOTO山本电机株式会社,KAMIUCHI(株)神内电机制作所,SANEIKOSYO三栄工业(株),MITSUBOSHI三ツ星ベルト,EXTION台湾大内,TERAUCHI株式会社寺内製作所

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